概述

　　適用于潔凈廠房，局部潔凈環(huán)境的氣流流型攝像及錄影。

　　根據(jù)ISO14644-3 及新GMP對潔凈廠房驗收需要對氣流方向進行評價。Y09-010煙霧發(fā)生器可以產(chǎn)生高濃度水蒸氣(粒徑范圍：1-10um 集中度80%以上)，高可見度及無污染。當(dāng)水蒸氣在潔凈室內(nèi)散發(fā)后，沒有可測的殘留物質(zhì)。Y09-010可適用于半導(dǎo)體，制藥類潔凈車間。